[이데일리 권오석 기자] 반도체 단결정 성장 장비 전문기업 에스에프솔루션이 중소벤처기업부 산하 중소기업기술정보진흥원의 ‘스케일업 팁스(Scale-up TIPS) 특화형’ 연구개발(R&D) 과제에 최종 선정됐다고 13일 밝혔다.

(사진=에스에프솔루션)

이번 과제는 국내 최초로 반도체 드라이 에칭(건식 식각) 공정에 투입되는 600㎜급 초대구경·초장대 단결정 실리콘 잉곳(Si Ingot) 성장 장비(Grower)를 개발하는 사업이다. 사업 기간은 2026년 9월부터 2029년 8월까지 총 3년이며, 정부지원 연구개발비 30억원을 포함해 총 40억원 규모의 사업비가 투입될 예정이다.

에스에프솔루션은 이번 과제를 통해 600㎜급 초대구경 단결정 실리콘 성장 장비를 개발하고, 실증을 거쳐 실제 Ingot 성장에 나설 계획이다. 이후 주요 고객사의 검증을 완료해 상용화 레퍼런스를 구축한다는 목표다.

최근 반도체 산업이 5나노미터(㎚) 이하 첨단 로직 공정과 200단 이상의 3D 낸드플래시 공정으로 고도화함에 따라, 드라이 에칭 공정에 쓰이는 실리콘 파츠(Silicon Parts)의 중요성도 한층 커지고 있다. 공정 균일도 및 수율 향상을 위해 소재 성능 요건이 까다로워지면서 단결정 실리콘 적용 수요 역시 늘어나는 추세다.

회사 측은 이에 따라 대구경 실리콘 파츠와 이를 제조하기 위한 대구경 단결정 실리콘 잉곳 및 성장 장비에 대한 기술적 요구가 지속적으로 확대될 것으로 전망하고 있다. 에스에프솔루션은 그간 축적해 온 장비 제작 노하우와 이번 과제로 확보할 초대구경 기술력을 접목해 반도체 실리콘 파츠 생산장비 시장에서의 입지를 강화할 방침이다.

지난 2022년 4월 설립된 에스에프솔루션은 실리콘 단결정 성장에 사용되는 잉곳 성장 장비의 설계 및 제작, 기술 개발을 전문으로 수행해 온 기업이다. 설립 이후 태양광용 36인치 장비를 비롯해 반도체 실리콘 파츠용 28인치 및 32인치 성장 장비 등을 공급하며 기술력과 현장 레퍼런스를 확보해 왔다.

이영준 에스에프솔루션 대표는 “이번 스케일업 팁스 선정을 계기로 600㎜급 초대구경 단결정 실리콘 성장을 위한 장비 개발과 실증 과제를 성공적으로 완료할 것”이라며 “압도적인 기술 경쟁력과 상용화 레퍼런스를 확보해 글로벌 반도체 실리콘 파츠 공급망 내 핵심 장비 공급사로 도약하겠다”고 강조했다.